全自動(dòng)碳化硅外延最終清洗機(jī)是一種專門用于碳化硅（?SiC）?外延晶片的清洗設(shè)備，?它采用了高穩(wěn)定氣體流場(chǎng)、?壓力場(chǎng)控制、?感應(yīng)加熱、?反應(yīng)腔整機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案，?結(jié)合自主開發(fā)的原位監(jiān)控技術(shù)、?在線清洗技術(shù)以及涂層材料和工藝，?實(shí)現(xiàn)了SiC外延的快速、?高質(zhì)量生長。?此外，?該設(shè)備還提高了運(yùn)行的可靠性和穩(wěn)定性，?確保了清洗過程的效率和品質(zhì)。?
該清洗機(jī)適用于處理各種尺寸的碳化硅晶片，?包括但不限于2-8英寸的碳化硅晶片，?能夠滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中對(duì)高純度、?高質(zhì)量的清洗需求。?設(shè)備采用機(jī)械臂式設(shè)計(jì)，?具有5個(gè)槽位，?適用于半導(dǎo)體、?光伏等領(lǐng)域的應(yīng)用。?控制模式包括手動(dòng)和自動(dòng)兩種方式，?以適應(yīng)不同的操作需求。?
1. 工作原理
全自動(dòng)碳化硅外延最終清洗機(jī)是一種高效設(shè)備，?用于清潔碳化硅材料，?其工作原理包括物理清洗和化學(xué)清洗。?物理清洗主要通過拋光頭的高頻振動(dòng)和流體動(dòng)力學(xué)的沖擊作用，?去除碳化硅表面的雜質(zhì)。?化學(xué)清洗則是利用特定的清洗劑與碳化硅表面雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，?將其溶解于清洗液中。?這種清洗方式不僅提高了碳化硅的清潔度，?還改善了后續(xù)工序的生產(chǎn)環(huán)境，?同時(shí)增強(qiáng)了碳化硅與結(jié)合劑的結(jié)合強(qiáng)度，?從而提高了產(chǎn)品的各項(xiàng)性能指標(biāo)。
2. 工作流程
生產(chǎn)主線為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個(gè)制程工位, 設(shè)置為6” *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下『?jiǎn)?dòng)鍵』，Robot將自動(dòng)以夾持方式移至制程槽進(jìn)行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達(dá)成一貫性自動(dòng)控制的功能。本設(shè)備電氣控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位， ?按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。
3. 清洗能力
6inch 1cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
4. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1) 高效清洗：?通過高穩(wěn)定氣體流場(chǎng)和壓力場(chǎng)控制，?實(shí)現(xiàn)了對(duì)碳化硅晶片的快速且高效的清洗。?
2) 高質(zhì)量生長：?結(jié)合感應(yīng)加熱和反應(yīng)腔整機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，?以及自主開發(fā)的原位監(jiān)控技術(shù)和在線清洗技術(shù)，?保證了外延生長的高質(zhì)量。?
3) 可靠性與穩(wěn)定性：?通過優(yōu)化涂層材料和工藝，?提高了設(shè)備的運(yùn)行可靠性和穩(wěn)定性。?
4) 適用范圍廣：?能夠處理2-8英寸的碳化硅晶片，?滿足不同尺寸的需求。?
5) 安全與操作簡(jiǎn)便：?設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊且安全，?采用工控機(jī)控制，自動(dòng)化程度高，?操作簡(jiǎn)便，?同時(shí)可以根據(jù)用戶需求提供個(gè)性化解決方案。
5. 產(chǎn)品特點(diǎn)
01）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
02）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；
03）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
04）整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
05）整機(jī)采用PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
06）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
07）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
08）機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
09）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
10）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
11）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使有機(jī)液揮發(fā)氣體的污染最小化；
12）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
13）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
14）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入有機(jī)、酸堿廢液總管；
15）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
16) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
17）機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
18）機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
19）工藝槽槽體傾斜式，便于排空；
20）機(jī)臺(tái)電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達(dá)到節(jié)能目的；
22）廢液排放，每個(gè)工藝槽采用獨(dú)立排放管道，對(duì)應(yīng)QDR也采用獨(dú)立排放口；
23）排風(fēng)，工藝腔內(nèi)每個(gè)工藝槽對(duì)應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu)；
24）換液提醒功能，所有制程能根據(jù)配液時(shí)間或運(yùn)行批次數(shù)量通知換酸；
25）工藝結(jié)束可以設(shè)置預(yù)先報(bào)警功能，預(yù)報(bào)警聲音和實(shí)際報(bào)警聲音要有所區(qū)分；
26）工藝說明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過程全自動(dòng)進(jìn)行；
27）全程自動(dòng)化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
28）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；
29）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
30）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
31）上下料方向：左進(jìn)右出，花籃水平放置；
32）顆粒指標(biāo)，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個(gè)/cm2；
33）目前金屬離子殘留測(cè)試，包括XX種元素：------,每一種金屬元素殘留指標(biāo)均要求
6. 安裝及售后
1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試設(shè)備。
2) 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。