輔助設(shè)備
自動供液系統(tǒng)（CDS）
本設(shè)備是一臺將所需化學(xué)品以泵為動力，由儲液桶打到工藝槽中的集中輸送系統(tǒng)，主要用于濕法清洗等制程工藝。
技術(shù)特點:該系統(tǒng)適用于對所有化學(xué)品的直供或集中供給，并且在控制方面也與大多數(shù)品牌的PLC相兼容，以實現(xiàn)組態(tài)聯(lián)網(wǎng)集中控制。此外，該系統(tǒng)的人機操作界面內(nèi)容詳盡且簡單易懂，并配有語音合成功能。
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